Avec le développement de l'industrie chinoise des semi-conducteurs, le développement de composants clés pour les équipements de traitement est devenu une contrainte critique pour le développement des équipements. À mesure que la demande en faveur d’une localisation nationale de la technologie des semi-conducteurs se fait plus forte, de plus en plus de technologies goulots d’étranglement dans l’industrie des semi-conducteurs seront surmontées. S'appuyant sur des années d'expérience dans l'industrie des semi-conducteurs, notre société a développé un servomoteur à arbre creux-haute vitesse-pour adsorber les plaquettes dans les équipements de revêtement, de développement et de nettoyage des semi-conducteurs. Ce moteur présente une accélération élevée, une large plage de vitesses et une réactivité élevée, et a été largement salué par les clients de l'industrie.
Applications du servomoteur à arbre creux- :
Équipement d'exposition et de développement (revêtement, développement) : Le principal équipement pour les processus de photolithographie, contrôlant le revêtement, l'exposition et le développement.
Matériel de nettoyage, de revêtement, de développement et de retrait de films.
Convient aux processus de nettoyage par rinçage physique, de nettoyage des particules et de pulvérisation.
Spécifications du produit et domaines d'application du servomoteur à arbre creux :
750 W/1 000 W – 5 000, 6 000 tr/min
Domaines d'application (-modèles haut de gamme) :
Équipement semi-conducteur de 8 pouces et 12 pouces.
Processus tels que le revêtement, le développement, le nettoyage et la gravure.
L'accélération maximale peut atteindre une accélération instantanée de 50 000 R/S².
La conception spéciale de l'extrémité de l'arbre garantit le coefficient d'excentricité de la charge à l'extrémité de l'arbre le plus bas.
